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中國成為全球惟一能制造深紫外激光器的國家
由中國科學院承擔的國家重大科研裝備研制項目“深紫外固態激光源前沿裝備研制項目”今天在北京通過驗收,使我國成為世界上惟一一個能夠制造實用化深紫外全固態激光器的國家...
2013-09-07 -
Gigaphoton公司實現LPP EUV激光光源20W功率輸出
近日,Gigaphoton公司在LPP光源技術的研究上取得重大的突破,實現了高輸出低成本的穩定LPP光源,研制出了輸出功率達20W的LPP EUV激光光源,將進一步推動著極EUV光源的發展。 Gigaphoton 公司18日宣...
2013-08-24 -
華日達成月產150臺紫外激光器產能
華日消息,截止2013年7月底,武漢華日精密激光有限責任公司二期擴產項目已經順利完成。生產能力大大提高,目前公司已經順利達成月產150臺紫外激光的產能目標,同時完全滿足批量可靠性的...
2013-08-07 -
EKSPLA發布50w高功率工業級全固態皮秒激光器
半導體激光泵浦的全固態激光器是20世紀80年代末期出現的新型激光器,具有體積小、重量輕、效率高、性能穩定、可靠性好、壽命長、光束質量高等優點,市場需求十分巨大,采用全固態激光...
2013-06-15 -
極紫外光源光刻技術離我們還有多遠?
極紫外(EUV)光源可以為晶圓生產提供幾十瓦功率是一個重要的里程碑,預計今年稍晚些時候可以開始大批量供貨。但對于大規模生產芯片,其性能還存在嚴峻的挑戰。 回顧半導體光刻歷史,2...
2013-06-12 -
我國首次實現新型深紫外激光輸出
我國首次實現 新型深紫外激光輸出 在十二五863計劃新材料領域先進激光材料及全固態激光技術主題項目支持下,中國科學院理化技術研究所承擔的深紫外激光器及人工晶體關鍵技術課題取得重...
2013-05-30 -
紫外激光器產業化關鍵技術獲突破 提升核心競爭力
據科技部消息,清華大學等單位共同承擔的十二五863計劃新材料領域紫外激光器產業化關鍵技術及應用課題取得重要進展,于近日通過技術驗收。 課題組解決了厘米級BBSAG晶體生長、非線性晶...
2013-05-27 -
紫外激光器產業化關鍵技術獲突破 提升核心競爭力
據科技部消息,清華大學等單位共同承擔的十二五863計劃新材料領域紫外激光器產業化關鍵技術及應用課題取得重要進展,于近日通過技術驗收。 課題組解決了厘米級BBSAG晶體生長、非線性晶...
2013-05-22


