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準分子激光剝離系統：結構緊湊、光斑勻化效果好、傳輸效率高
技術特點：1、193/248/308nm 激光器，短脈寬，高峰值功率；2、靜態氣體壽命 30 天；3、激光器壽命 5億次脈沖；4、最高能量密度 1 		2024-08-10
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