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型號參數

dynAXIS ^®, dynAXIS ^® 3 ⁽¹⁾

XS

T

S

M

L

轉動慣量

0.028g·cm²

0.125g·cm²

0.34g·cm²

1.2 g·cm²

25.1g·cm²

扭矩系數

2.3N·mm/A

5.3N·mm/A

7.5N·mm/A

15 N·mm/A

24 N·mm/A

線圈阻抗

3.9Ω

2.8Ω

2.7Ω

2.2Ω

0.85Ω

線圈電感

90μH

145μH

165μH

275μH

300μH

RMS電流

1.8A

2.2A

2.5A

3.5A

5A

峰值電流

6A

10A

10A

10A

15A

重量

不帶線纜

25g

40g ⁽⁵⁾ #p#分頁標題#e#

220g

300g

400g

接插件

不帶預熱器

DE9M

DE9M

帶預熱器

DA15F

DA 15F

DA 15F

DA 15F

慣性負載

推薦值

0.02g·cm²

0.1g·cm²

0.35g·cm²

1.2 g·cm²

8 g·cm²

最大值

0.05g·cm²

0.5 g·cm²

1.5g·cm²

6 g·cm²

25 g·cm²

鏡片大小

7 mm

8.5 mm

10 mm

14 mm

20 – 30mm

動態特性

階躍響應時間 1%FS

0.17 ms

0.19 ms

0.25 ms

0.35 ms

0.55 ms

一般參數

dynAXIS ^®

dynAXIS ^®3⁽⁶⁾

最大掃描角度

±12°

最大 ±20°

位置探測器參數

線性度⁽⁷⁾

< 0.4 %

< 0.1 %

零點漂移

<15μrad/K

< 3 μrad/K⁽⁸⁾

增益漂移

< 50ppm/K

< 12 ppm/K⁽⁸⁾

重復精度

< 5 μrad

< 5 μrad

輸出信號

微分模式

11 μA /°

10.5 μA /°

普通模式

140 μA

110 μA

電流

35 –60mA

max. 45 mA

預熱器 ⁽³⁾

預熱器阻抗

120 Ω

溫度探測器

1000 Ω at 25 °C

阻抗

578 Ω at 40 °C

預熱器最大電流

0.25 A

線纜長度

標準0.22m

安裝

絕緣處理

操作溫度

5-50℃無冷凝

動態特性

重復性

<22μrad

零點漂移

30μrad/k

增益漂移

80ppm/k

長期漂移（8小時）

<0.3mrad

光學特性

掃描角度

±0.35rad

增益誤差

<5mrad

零點誤差

<5mrad

非線性特性

<3.5mrad

接口

模擬模式

±4.8V

數字模式

XY2-100

工作溫度

25℃±10℃

SCANcube7

SCANcube8.5

SCANcube10

SCANcube14

入光孔徑

7mm

8.5mm

10mm

14mm

光束偏移

9.98mm

10.17mm

12.54mm

16.42mm

動態特性

跟蹤誤差

0.14ms

0.14ms

0.16ms

0.30mm

階躍響應時間

1%F.S

0.25 ms

0.30ms

0.40ms

0.65ms

10%F.S

0.70 ms

0.70ms

1.2ms

1.6ms

速度

標刻速度

2.5 m/s

2.5 m/s

2.0 m/s

1.0 m/s

定位速度

15.0 m/s

15.0 m/s

10.0 m/s

7.0m/s

電氣要求

±15 VDC

最大2A/路

±15 VDC

最大3A/路

±15 VDC

最大3A/路

±15 VDC

最大3A/路

重量

650g

1Kg

1.9Kg

2.3Kg

型號參數

所有的角度都是光學角度

hurrySCAN ^®II

hurrySCAN ^®

入光孔徑&, amp;, amp;, lt;, /FONT>

7 mm

10 mm

14 mm

10 mm

20 mm

25 mm

30 mm

光學特性

X軸典型掃描角度

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.26 rad

±0.35 rad

Y軸典型掃描角度

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.40 rad

±0.35 rad

掃描范圍（橢圓）

-

-

-

-

-

80 x 130 mm²

-

掃描范圍（圓形）

110 x 110 mm²

110 x 110 mm²

90 x 90 mm²

110 x 110 mm²

90 x 90 mm²

75 x 75 mm2

50 x 50 mm2

線性度

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

動態特性

跟蹤誤差

0.11 ms

0.14 ms

0.24 ms

0.18 ms

0.35 ms

0.50 ms

0.55 ms

長時間漂移（8小時）

< 0.3 mrad

< 0.6 mrad

< 0.6 mrad

< 0.6 mrad

< 0.6 mrad

< 0.6 mrad

< 0.6 mrad

階躍時間

1 % F.S

0.23 ms

0.25 ms

0.40 ms

0.35 ms

, , 0.80 ms

0.90 ms

1.20 ms

10 %F.S

-

-

1.60 ms

0.90 ms

2.50 ms

3.20 ms

4.50 ms

速度

標刻速度

3.5 m/s

2.5 m/s

1.5 m/s

2.0 m/s

1.0 m/s

0.8 m/s

0.7 m/s

定位速度

15.0 m/s

10.0 m/s

7.0 m/s

7.0 m/s

6.0 m/s

5.0 m/s

3.0 m/s

寫入速度

好品質寫入速度

1100 cps

800 cps

500 cps

640 cps

320 cps

260 cps

220 cps

高品質寫入速度

800 cps

500 cps

340 cps

400 cps

210 cps

170 cps

150 cps

重量（不帶物鏡時）

3 kg ⁽⁶⁾

3 kg ⁽⁶⁾

3 kg ⁽⁶⁾

3 kg ⁽⁶⁾

5.8 kg

5.8 kg

5.8 kg

型號參數
所有的角度都是指光學角度

intelliSCAN ^®/ intelliSCAN_de ^®

入光孔徑

10⁽¹⁾

14

20

25

30

“Fast Vector” 式調整

速度

標刻速度

3.0 m/s

1.5 m/s

1.0 m/s

0.8 m/s

0.7 m/s

定位速度

14.0 m/s

12.0 m/s

11.0 m/s

10.0 m/s

9.0 m/s

寫入速度

　,

好品質寫入速度

1150 cps

500 cps

340 cps

260 cps

220 cps

高品質寫入速度

800 cps

340 cps

230 cps

170 cps

150 cps

動態特性

跟蹤誤差

0.12 ms

0.21 ms

0.32 ms

0.50 ms

0.55 ms

“step”式調整

階躍時間

1% of full scale

0.37 ms

0.7 ms

0.75 ms

1.0 ms

1.2 ms

10% of full scale

1.0 ms

1.4 ms

1.9 ms

2.7 ms

3.5 ms

100% of full scale

3.0 ms

3.7 ms

5.3 ms

8.0 ms

11.0 ms

可為客戶特殊應用而進行優化

可提供如下調整

調整方式

優化效果

“Step”式調整

最小階躍時間

“Sharp Edge”式調整

更高標刻速度

小倒角

“Micromachining”式調整

低抖動

型號參數
所有的角度都是指光學角度

intelliSCAN _de^®

intelliSCAN ^®

動態特性

重復精度

< 11 μrad ^(*)

< 22 μrad

抖動 （位置噪音、最大振幅）

< 5 μrad

< 22 μrad ⁽¹⁾

長時間漂移（8小時）

< 0.1 mrad ⁽²⁾

< 0.6 mrad ⁽³⁾

零點漂移

< 15 μrad/K

-

增益漂移

< 8 ppm/K

-

光學特性

線性度

< 0.5 mrad

< 3.5 mrad

位置分辨率

0.83 μrad ⁽⁵⁾#p#分頁標題#e#

up to 2.8 μrad

型號參數

所有的角度都是光學角度

intelliDRILL^® 20

intelliDRILL^® 20

intelliDRILL^® 30

intelliDRILL^® 30

入光孔徑

20 mm

20 mm

30 mm

30 mm

光束偏移

24.53 mm

24.53 mm

37.12 mm

37.12 mm

階躍響應

1 mm pitch

0.43 ms

0.43 ms

0.6 ms

0.6 ms

10 mm pitch

1.5 ms

1.5 ms

2.0 ms

2.0 ms

1mm光柵的通過頻率

2300 Hz

2300 Hz

1600 Hz

1600 Hz

位置分辨率

2.8 μrad

1.3 μrad

2.8 μrad

0.83 μrad

長時間漂移（8小時）

< 0.6 mrad

< 0.1 mrad

< 0.6 mrad

< 0.1 mrad

線性度

< 3.5 mrad

< 0.5 mrad

< 3.5 mrad

< 0.5 mrad

重量

3 kg

3 kg

4 kg

4 kg

通用參數
所有角度都是光學角度

動態性能

重復精度

< 22 μrad　

光學性能

掃描角度

±0.26 rad

增益誤差

< 5 mrad

零點誤差

< 5 mrad

電氣要求

±48 V DC, 4 A/路 或者 ±24 V DC, 4 A /路

接口定義

S, L2-100 (20 bit) 或者 XY2-100增強型 (16 bit)

運行溫度

25 °C ± 10 °C

冷卻水

溫度

20 - 25 °C

溫度偏移幅度

±1K

powerSCAN 70/70i 搭配 varioSCAN 80/varioSCANde 80i

波長

10.6 μm

10.6 μm

10.6 μm

最大激光功率（連續光）

2000 W

2000 W

2000 W

最大激光功率（50%占空比）

4000 W

4000 W

4000 W

掃描范圍

0.9 m/s

2.0 m/s

3.2 m/s

Z軸聚焦范圍

±10 mm

±200 mm

聚焦光斑 (1/e^{2#p#分頁標題#e#})

220 μm (M²=1)

450 μm (M²=1)

650 μm (M²=1)

擴束鏡倍數

4.9

4.5

4.6

焦距

(860 ± 45) mm

(1680 ± 200) mm

(2440 ± 400) mm

型號參數

所有的角度都是光學角度

powerSCAN 33

powerSCAN 50/50i

powerSCAN 70/70i

入光孔徑

33 mm

50 mm

70 mm

光束偏移

45.21 mm

72.72 mm

98.2 mm

階躍響應時間

1% F.S

1.3 ms

1.5 ms / 2.0 ms^(*)

2.8 ms / 3.5 ms^(*)

10% F.S

4.5 ms

加工速度

3 rad/s

2.5 rad/s

1.5 rad/s

定位速度

18 rad/s

15 rad/s / 25 rad/s^(*)

12 rad/s / 15 rad/s^(*)

動態特性

跟蹤誤差

0.75 ms

0.9 ms

1.6 ms

電氣要求

±(15+1.5) V DC, 4.5 A/路

±(24+1.5) V DC,　　　　10A/路

峰值電流 20A/路

±(24+1.5) V DC,10A/路 峰值電流 20A/路

重量（配varioSCAN）

12 kg

33 kg

35 kg

風冷要求

干凈、過濾氣體

> 1.5 bar

干凈、過濾氣體

1.5 bar to 2.0 bar

干凈、過濾氣體

1.5 bar to 2.0 bar

通用參數

所有的角度都是光學角度

動態特性

重復精度

< 22 μrad

長時間漂移（8小時）

< 0.6 mrad

光學特性

掃描角度

±0.35 rad

增益誤差

< 5 mrad

零點漂移

< 5 mrad

斜交

< 1.5 mrad

線性度

< 2.1 mrad

輸入信號

模擬信號

（不含powerSCAN i）

二者選一:

±4.8 V; ±9.6 V;

±4.8 mA; ±9.6 mA

數字信號

• powerSCAN

XY2-100標準接口，光學數據傳輸模式可選,

• powerSCAN i

SL2-100

輸出信號

每軸三個狀態信號

模擬信號

(不含powerSCAN i)

TTL 電平

數字信號

• powerSCAN

XY2-100標準接口，光學數據傳輸模式可選,

• powerSCAN i

SL2-100

運行溫度

25 °C ± 10 °C

冷卻要求

max. 4.5 bar

3軸掃描系統光路構造

varioSCAN_de^® 20i

varioSCAN_de^®40i

varioSCAN 40_FLEX

激光類型

Nd:YAG

Nd:YAG x 3

CO₂

CO₂

波長

1064 nm

355 nm

10.6 μm

10.6 μm

XY掃描單元

10 mm 光闌

14 mm 光闌

30 mm 光闌

30 mm 光闌

平場物鏡(場鏡）

f = 55 mm

-

-

-

掃描范圍

Ø 15 mm

(600 x 600) mm²

(500 x 500) mm²

(200 x 200) mm² 到(2000 x 2000) mm²

Z軸聚焦范圍

± 4 mm

± 80 mm

± 100 mm

± 2 mm到 ± 400 mm

聚焦光斑直徑

< 15 μm (M²= 1)

< 75 μm (M²= 1)

550 μm (M²= 1)

200 μm (M²=1) 到1.8 mm (M²=1)

擴束鏡倍數

2.8

3.8

2.35

2.4 到 1.9

每個透鏡的平均焦點位移

2 mm/mm

61 mm/mm

49.3 mm/mm

-

焦距

-

(1300 ± 122) mm

(850 ± 148) mm

(395 ± 18) mm 到(2850 ± 600) mm

最大激光功率 （連續光）

20 W

50 W

1000 W

500 W

型號參數

所有的角度都是光學角度

varioSCAN_de^® 20i

varioSCAN_de^® 40i

varioSCAN 40_FLEX

入射光直徑

最大 8 mm

最大16 mm

最大16 mm

出射光直徑

最大20 mm

最大40 mm

最大40 mm

機械參數

最大透鏡位移

±2 mm

±3 mm

±1.5 mm

跟蹤誤差

0.55 ms

0.7 ms

1.4 ms

位移速度

≤280 mm/s

≤140 mm/s

≤100 mm/s

重復精度

< 0.5 μm

< 0.5 μm

< 1 μm

線性度

0.05 % FS

0.05 % FS

1.5 % FS

長時間漂移（8小時、恒定環境條件）

< 3 μm

, < 10 μm

電氣要求

30 V DC (2, 9-, 33V),

1.5 A/路

30 V DC (29-33V),

1.5 A/路

±(15+1.5) V DC,

1.5 A/路

接口協議

XY2-100 增強型、

SL2-100

XY2-100 增強型

SL2-100

XY2-100標準型, SL2-100或者光學數據傳輸模式

控制板包括

DSCB + 接口板

DSCB + 接口板

SSV30

重量（由光路構造決定）

500 g to 700 g

2.4 kg

2.4 kg / 4.5 kg

型號

6231HB

6230H

機械參數

入射光束直徑

8, 10, 12或15

8,10,12,15

mm

最大掃描角度（光學角）

40

40

º

轉動慣量

0.82

0.97

gm*cm2, +/ - 10%

轉矩系數

11,100

131,000

yne-cm/amp, +/ - 10%

最大線圈溫度

110

110

ºC

最大線圈對殼體熱阻抗

1.0

0.8

ºC/Watt, Max

電氣參數

線圈阻抗

1.27

1.07

Ohms, +/- 10%

線圈電感

176

173

µH, +/- 10%

反向電動勢

195

229

mV/度/秒, +/- 10%

RMS電流

5.8

7.1

A, Max

峰值電流

25

25

A, Max

小步長階躍響應時間

0.25

0.25

ms

位置探測器參數

線性度

99.99

99.9

Min

比例漂移

50

50

PPM/ºC, Max

最大零點漂移

15

15

µrad/º C, Max

重復精度

8

8

mrad

輸出信號（普通模式）

155

155

µA

輸出信號（微分模式）

11.7

11.7

µA/º

驅動卡

67723

67723

光學特性

powerSCAN 33 with varioSCAN 40

powerSCAN 50/50i with varioSCAN 60/varioSCANde 60i

波長

10.6 μm

10.6 μm

10.6 μm

10.6 μm

10.6 μm

10.6 μm

10.6 μm

最大激光功率（連續光）

2000 W

2000 W

2000 W

2000 W

2000 W

2000 W

2000 W

最大激光功率（50, %占空比）

4000 W

4000 W

4000 W

4000 W

4000 W

4000 W

4000 W

掃描范圍

(170 x 170) mm²

(500 x 500) mm²

(1.5 x 1.5)㎡

(400 x 400) mm²

(600 x 600) mm²

(800 x 800)

mm²

(1.0 x 1.0) m²

加工速度

0.8 m/s

2.0 m/s

6.0 m/s

1.3 m/s

2.0 m/s

2.7 m/s

3.2 m/s

Z軸聚焦范圍

±4 mm

±35 mm

±75 mm

±10 mm

±40 mm

±50 mm

±100 mm

聚焦光斑

210 μm (M²=1)

450 μm (M²=1)

1.3 mm (M²=1)

250 μm (M²=1)

375 μm (M²=1)

500 μm (M²=1)

600 μm (M²=1)

擴束鏡倍數

2.5

2.4

2.2

3.8

3.6

3.5

3.4

焦距

(414 ± 15) mm

(850 ± 75) mm

(2300 ± 500) mm

(750 ± 50) mm

(1050 ± 90) mm

(1350 ± 150) mm

(1650 ± 250) mm

參數

波長

1030 nm - 1085 nm ⁽¹⁾

最大激光功率（帶特殊冷卻系統）

8000 W ⁽²⁾

準直器的特性

焦距

110 mm

限定數值孔徑

typ. 0.125 ⁽³⁾#p#分頁標題#e#

光纖適配器

QBH, Q5 / LLK-B, QD / LLK-D（也可提供其他適配器）

階躍時間（“step”式調整）

1% of full scale

1.2 ms

10% of full scale

3.5 ms

100% of full scale

11 ms

速度（“vector”式調整）

加工速度

4 rad/s

定位速度

50 rad/s

動態特性

跟蹤誤差

0.6 ms

重復精度

< 22 μ rad

長時間漂移（8小時）

< 0.6 mrad

光學特性

掃描角度

± 0.35 rad

增益誤差

< 5 mrad

線性度

< 3.5 mrad

電氣要求

± (15+1.5) V DC, 8 A/路

輸入、輸出信號

SL2-100 或者光學數據傳輸模式

(XY2-100-O)

重量

21 - 37 kg

運行溫度

25 ° C ± 10 ° C

水冷要求

3 l/min at 20° C 及p < 0.1 bar, p < 4 bar

光學特性

場鏡前掃描

場鏡后掃描

焦距

460 mm

330 mm

660 mm

工作距離

488 mm

382 mm

472 mm

掃描范圍（長方體）

(220 x 220 x 140) mm³

(185 x 185 x 80) mm³

(370 x 370 x 200) mm³

掃描范圍（橢圓）

(385 x 270) mm²

(240 x 200) mm²

(450 x 450) mm²

Z 軸聚焦范圍

± 70 mm

± 40 mm

± 100 mm

聚焦光斑大小

630 μ m(帶 150 μ m 光纖)

600 μ m(帶 200 μ m 光纖)

600 μ m(帶 100 μ m 光纖)

光纖直徑

100μ m, 150μ m or 200μ m

150 μ m or 200 μ m

50 μ m or 100 μ m

圖像比例

1:4

1:3

1:6

通用參數

光學特性

掃描角度

±0.35 rad (1)

增益誤差

< 5 mrad

零點誤差

< 5 mrad

電氣要求

±15 V DC,

每個最大 6 A /路 或者30V DC 最大6A/路

接口定義

XY2-100增強型、SL2-100 或者光學數據傳輸

運行溫度

25 °C ± 10 °C

風冷要求

干凈、過濾氣體
20 l/min at Δp < 2 bar

水冷要求

5 l/min atΔp < 0.1 bar, p < 4 bar

通用參數

所有的角度都是光學角度

動態特性

重復精度

< 22 μrad

光學特性

增益誤差

< 5 mrad

零點誤差

< 5 mrad

斜交

< 1.5 mrad

電氣要求

±(15+1.5) V DC

最大電流 3 A/路

( hurrySCAN ® 20-30 的最大電流是6A/路)

輸入信號

模擬信號

二選一

±4.8 V; ±9.6 V;

±4.8 mA; ±9.6 mA

數字信號

XY2-100標準接口, SL2-100 或者光學數據傳輸

輸出信號

每軸有3個狀態信號

模擬信號

TTL 電平

數字信號

XY2-100標準接口, SL2-100 或者光學數據傳輸

運行溫度

25 °C ± 10 °C

典型風冷要求

干凈、過濾氣體20 l/min at Δp < 2 bar

典型水冷要求

5 l/min at Δp < 0.1 bar, p < 4 bar