武漢新芯集成電路制造有限公司擬投資35億美元,擴產(chǎn)其12英寸集成電路生產(chǎn)線,為此,該公司引進了最新核心生產(chǎn)設(shè)備價值昂貴的大型掃描光刻機。它的來漢,標(biāo)志著武漢新芯正式進入產(chǎn)能擴張階段。設(shè)備重36噸,體積超過160立方米,是非常精密的光學(xué)機械設(shè)備,在運輸過程對震動及溫度都有非常嚴格的要求。包機抵達后,享受了超貴賓級待遇和紅地毯式的全程護送。從機場到芯片廠公路運輸中,車隊將以50公里/小時勻速行駛。到廠后,再經(jīng)精細移位操作送入潔凈廠房。
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