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       想要經濟地處理能源和資源問題，機床和設備就必須在連續的使用過程中被監控。為此，一種易于集成的傳感器技術便成為及時進行機床和設備維護保養，保證產品生產質量，避免停機故障和改善生產過程穩定性的關鍵因素。

　　高精度的生產過程監控需要直接來自生產過程的數據作為保障，這些數據應該由那些安裝在機床設備上的傳感器來提供。而負責這種檢測監控任務的傳感器大多數都是光纖傳感器，即有著極高檢測精度得微型化光纖傳感器，使其能夠方便得集成在機床、設備和檢測儀器中，能夠很好得完成監控和數據傳輸的任務。 

基于光纖的光纜外徑只有0.4～3mm的傳感器適合在高精度的機床加工中使用

　　利用由Fraunhofer IPT研究所研發設計的間距檢測傳感器，能夠在多個不同的檢測位置同時完成對被加工零件的形狀和位置誤差的納米級精度檢測。這種技術在航空航天、汽車制造、印刷機械制造和光學設備制造領域中都能夠得到很好的應用。

　　這種檢測技術適合于那些傳統檢測解決方案因安裝使用空間有限，以及傳統檢測技術無法滿足檢測精度的場合。這種傳感器的檢測頻率很高，檢測誤差明顯的小于高精度檢測儀，能夠實現機床和設備在超精密級范圍內的在線檢測，如機床運動軸和導軌移動的監控以及傳動軸的監控。

　　Fraunhofer研究所研發的這種檢測系統基于短波激光干涉原理，主要由兩個相干性激光部件組成。其中的第一個是純光學的全光纖技術元件（SLD1），第二個則是Michelson激光干涉器（SLD2）。這種檢測儀器的檢測距離大約為500μm，清晰度達1nm的檢測范圍約80μm。 

　　Fraunhofer IPT研究所研發的這個系統是基于激光短相干的工作原理，其主要部件為兩個相干性激光部件單元，其中的第一個是純光學的全光纖技術元件（SLD1），第二個則是Michelson激光干涉器（SLD2）這種傳感器用光波電纜（LWL）連接，電纜的外徑尺寸為0.4～3mm。對于剛性要求較高的傳感器，可以將其安裝在CFK或鎳鈦復合材料的金屬殼中。

　　最后，將兩種信號在Michelson干涉器中進行解碼。微型傳感器和檢測裝置集式在一起而檢測結果的最終評判裝置無需安裝在檢測現場。另外，這種檢測系統的結構還允許在一個檢測評判單元中使用多個檢測傳感器。利用光纖轉換開關可以快捷方便地在各個傳感器之間進行切換。

　　由此在Michelson干涉器中而得到的光柵圖將用CCD電荷耦合式攝像機進行解碼，利用計算機進行下一步的數據處理。檢測間距和檢測范圍取決于傳感器信號（焦距）和折光鏡的角度以及其與激光射束之間的間距。與其他的檢測系統相比較，這種檢測系統的優點在于它沒有類似于線性調節器或壓電發生器之類的區別檔位的機械零部件。

CCD電荷耦合式攝像機的特性解碼

　　當被測物體進入到檢查范圍之內后，將會產生一個由CCD電荷耦合式攝像機解碼的固有特征干涉光樣本。利用干涉信號的橫向位置在CCD芯片中對被測物體的間距進行補償，并把間距調節量換算成圖像的像素點數。