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      典型的MEMS光開關器件可分為二維和三維結構。二維MEMS的空間旋轉鏡通過表面微機械制造技術單片集成在硅基底上，準直光通過微鏡的適當旋轉被接到適當的輸出端。微鉸鏈把微鏡鉸接在硅基底上，微鏡兩邊有兩個推桿，推桿一端連接微鏡鉸接點，另一端連接可平移梳妝電極。轉換狀態通過調節梳妝電極使微鏡發生轉動，當微鏡為水平時，可使光束從該微鏡上面通過，當微鏡旋轉到與硅基底垂直時，MEMS光開關將反射入射到它表面的光束，從而使該光束從該微鏡對應的輸出端口輸出。三維MEMS的鏡面能向任何方向偏轉，這些陣列通常是成對出現，輸入光線到達第一個陣列鏡面上被反射到第二個陣列的鏡面上，然后光線被反射到輸出端口。
      在多種可能的驅動方法中，靜電和磁感應法為主選方案。靜電法依賴于電荷極性相反的機械元素之間的相互吸引，這是MEMS技術中使用的主要的驅動方法，MEMS光開關具有可重復性和容易屏蔽等優點。磁感應驅動依賴于磁體或者電磁體之間的相互吸引。盡管磁感應驅動能夠產生更大的驅動力并具有較高的線性度，但由于磁感應應用中還有許多問題有待于解決，所以目前靜電驅動方案仍然是可靠設備的最佳選擇。