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據日經中文網，日本公司Gigaphoton將投資50億日元在日本建設新廠房，生產DUV（深紫外）光刻機的核心設備光源，目前工廠建設正在進行中。

Gigaphoton公司是日本最大工程機械企業小松的子公司，其在光刻機光源設備中占據高達50%的市場份額，多年來一直向ASML供貨。該公司由于掌握DUV光源這一先進技術，營業利潤率約20%，甚至超過了母公司小松，目前公司估值達到3000億日元。

據悉，如果Gigaphoton的新廠房在2023年內竣工，那么該公司的產能將提高至2020年財年的將近2倍，進一步擴大對荷蘭ASML的供貨。目前ASML獨占EUV極紫外光刻機市場，但Gigaphoton認為DUV深紫外光刻機產品仍有增長空間，后者常用于7nm以上制程工藝。

Gigaphoton公司營業收入在2022財年為585億日元，在DUV光源領域，該公司與ASML旗下的美國公司Cymer平分市場。Gigaphoton計劃到2030年，獲得DUV光源60%的市場份額，營業收入達到1000億日元，營業利潤率25%。